微细加工技术

　　《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊(光盘版)》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。

　　《微细加工技术》目前已停刊，具体复刊时间以杂志社官方消息为准。

　　微细加工技术杂志栏目设置

　　综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术

　　微细加工技术杂志荣誉

　　EI 工程索引(美)万方收录(中)上海图书馆馆藏国家图书馆馆藏知网收录(中)统计源核心期刊(中国科技论文核心期刊)维普收录(中)Caj-cd规范获奖期刊全国中文核心期刊

　　期刊收录论文目录：

　　用于非球面测试的位相型计算全息图制作马杰;朱效立;谢常青;叶甜春;赵珉;刘明;陈宝钦;朱日宏;高志山;马骏 (7-8)

　　高高宽比硬X射线聚焦波带片的制作吴璇;陈军宁;朱效立;牛洁斌;李亚文;胡松;谢常青 (9-11)

　　射频磁控共溅射高温NH3退火制备CuO/SiO2复合薄膜的微观结构石锋;李玉国;孙钦军 (12-13)

　　Fe-ZnSe纳米复合颗粒膜的制备和磁电阻效应张林;张昌文;王永娟 (14-15)

　　Cu掺杂浓度对ZnO薄膜的结构、透光性和电学性质的影响徐庆岩;吴雪梅;诸葛兰剑;陈学梅;吴兆丰 (16-18)

　　聚合物Parylene C薄膜的反应离子刻蚀研究王亚军;刘景全;沈修成;杨春生;郭中元;芮岳峰 (19-21)

　　高析氢活性Ni-Mo-Zn合金电极的制备与表征朱波;刘贵昌;施志聪;王华;刘伟 (22-25)

　　SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现徐春晓;房立清;周新伟 (26-27)

　　陶瓷釉用TiO2光催化剂的制备研究陈前林;吴建青;王龙现; (28-30)

　　低相位噪声毫米波平面振荡器研究程知群;周云芳;张胜 (31-33)

　　共缩聚法制备功能化P(St-MPS)/MCM-41核壳复合微球赵彦生;陈凯;刘永梅;刘成岑;张向英;申迎华

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